检测项目

泄漏性能检测：

• 泄漏率测量：最大允许泄漏率≤1×10^{-6} mbar·l/s（参照ISO 3534-1）
• 最小可检测泄漏：灵敏度≥5×10^{-12} mbar·l/s（参照ASTM E515）
• 压降测试：压降速率≤0.01 mbar/min（参照EN 60534-4）

真空度评估：

• 初始真空度：达到≤1×10^{-3} mbar的时间≤30 min（参照GB/T 11159）
• 终极真空度：维持≤1×10^{-7} mbar≥24 h（参照ISO 21360-1）
• 真空稳定性：波动范围±0.5%

密封完整性测试：

• 密封强度测试：密封压力≥100 kPa保持≥10 min（参照EN 1779）
• 密封耐久性：循环次数≥10000次无泄漏（参照ASTM F2338）
• 泄漏点定位：精度误差≤1 mm

气体渗透分析：

• 氦气渗透率：≤1×10^{-9} cm³/s（参照ISO 15363）
• 其他气体渗透：氧气渗透率≤0.01 cc/m²/day（参照ASTM D3985）
• 渗透均匀性：偏差值≤5%

温度影响检测：

• 高温真空密封：温度范围-70°C至180°C泄漏不变（参照GB/T 16273）
• 低温真空密封：-196°C下泄漏率增量≤10%
• 热循环测试：100次循环泄漏稳定性

振动耐受性：

• 振动下泄漏：频率5-2000 Hz振幅2g泄漏不变（参照ISO 10816）
• 冲击测试：50g冲击后密封完好（参照MIL-STD-810）

腐蚀影响评估：

• 真空腐蚀电阻：暴露腐蚀介质泄漏率不变（参照ASTM G31）
• 密封材料降解：质量损失≤0.1%

寿命测试：

• 长期真空保持：≥1000 h真空度下降≤10%（参照ISO 1608）
• 疲劳寿命：密封失效周期≥50000次

尺寸稳定性：

• 真空下尺寸变化：线性膨胀系数≤5×10^{-6}/K（参照ASTM E228）
• 密封间隙控制：公差±0.01 mm

除气率测量：

• 材料出气率：≤1×10^{-6} mbar·l/s·cm²（参照ASTM E595）
• 挥发物浓度：≤10 ppm

检测范围

1. 真空腔体： 铝或不锈钢制腔体，重点检测焊缝密封性和整体泄漏率

2. O-ring密封圈： 橡胶或氟塑料材质，侧重压缩永久变形和温度耐受性测试

3. 真空阀门： 金属或陶瓷密封阀门，检测开关动作泄漏和腐蚀影响

4. 真空泵系统： 旋片或涡轮分子泵，重点监测出口密封和抽速稳定性

5. 管道连接系统： 不锈钢或铜管道，侧重接头密封和振动下泄漏检测

6. 电子封装元件： IC芯片真空封装，检测气密性和气体渗透防护

7. 航空航天部件： 舱门或推进剂箱，关注极端温度真空密封和冲击耐受

8. 医疗器械： 真空瓶或灭菌设备，重点检测无菌密封和长期真空保持

9. 食品包装材料： 真空袋或罐体，侧重泄漏率控制和防腐性能

10. 光学真空器件： 望远镜镜片腔，检测除气率和尺寸稳定性

检测方法

国际标准：

• ISO 3534-1:2006 真空技术术语与泄漏检测方法
• ASTM E515-11 氦质谱泄漏检测标准
• EN 1779:1999 压力差泄漏检测规程
• ISO 21360-1:2019 真空泵性能测试
• ASTM F2338-09 包装密封完整性试验

国家标准：

• GB/T 11159-2021 真空系统泄漏检测方法
• GB/T 16273-2020 真空设备密封性试验
• GB/T 11159-2021 真空泵测试规范
• GB/T 16273-2020 真空阀门密封性能
• GB/T 11159-2021 真空包装泄漏检测

方法差异说明：国际标准如ASTM侧重氦气示踪法，国家标准GB/T使用空气压降法，测试压力范围和灵敏度要求不同；ISO标准更强调术语统一，GB/T注重工业应用场景。

检测设备

1. 氦质谱检漏仪： Model HL-200（灵敏度 5×10^{-12} mbar·l/s，响应时间≤1 s）

2. 真空计： Model PG-100（测量范围 10^{-7} 至 10^3 mbar，精度 ±0.5%）

3. 压力测试仪： Model PT-500（压力范围 0 至 500 kPa，分辨率 0.01 kPa）

4. 密封测试台： Model ST-300（测试直径 ≤300 mm，压力控制 ±0.1 kPa）

5. 气体分析仪： Model GA-150（检测气体类型 He/O2/N2，检测限 0.1 ppm）

6. 振动测试系统： Model VT-400（频率范围 5-2000 Hz，振幅 ≤5g）

7. 温度环境舱： Model TC-600（温度范围 -70°C 至 180°C，波动 ±1°C）

8. 光学泄漏检测器： Model OL-250（视觉分辨率 0.1 mm，照明强度 1000 lux）

9. 超声波检漏仪： Model JianCe-180（频率 40 kHz，灵敏度 0.1 sccm）

10. 质量谱仪： Model MS-700（质量范围 1-300 amu，分辨力 0.1 amu）

11. 压差传感器： Model DS-220（量程 ±100 kPa，精度 ±0.1%）

12. 流量计： Model FM-330（流量范围 0.01-100 sccm，误差 ≤1%）

13. 真空泵测试器： Model VP-450（抽速测量 0.1-1000 L/s，精度 ±2%）

14. 密封圈测试装置： Model GT-380（压缩力 0-500 N，变形测量 ±0.01 mm）

15. 除气率测量仪： Model OR-290（出气率范围 10^{-12} 至 10^{-6} mbar·l/s·cm²）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。